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半导体、精密仪器、喷涂、印刷、注塑等洁净厂房

来源:杭州净化车间(君信达) 浏览量: 发表时间:2017.07.03




半导体、精密仪器、喷涂、印刷、注塑等洁净厂房


 


一、无尘室用材的选择1.必须仔细选择无尘室的各种用材,确保它们不会对室内造成污染。无尘室内经常使用的材料与设备举例如下:1)生产中使用的材料:在微电子工业中使用的硅晶片;2)产品包装材料:如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、预制的盒子等;3)工艺设备和机器;4)对设备和机器进行维修、校准、修理的工具以及转动设备的润滑剂等;5)人员服装,如洁净工作服、手套、指套、口罩、头罩等;6)无尘室清洁用品,如抹布与拖把;7)消耗性用品,如书写纸张、圆珠笔、标签、棉签。在大多数无尘室中粒子和纤维都是环境污染的主要来源。所以,应避免在生产工艺中使用容易破损或散发粒子的材料。其表面带有粒子和纤维的材料也应避免使用。在半导体工业中,产品表面的化学品和空气环境中的某些气体分子可能形成的化合 物,会沉积在半导体的表面上,


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 它们可能影响产品质量,甚至损坏半导体芯片。在一些无尘室中,那些无法将静电不断地传导开的材料,可能会因为静电荷的积累和放电使那些对静电敏感产品会受到损坏。此外,静电还会使材料产生静电吸附效应而吸附粒子,造成污染问题。选择用于无尘室内的生产材料,不仅仅要着眼于适合于生产工艺,而且也应关注是否有可能产生污染。显然对那些既可能构成污染,但又是生产所需的材料和物品,只有在缺之不可的情况下才能使用,或只有在已经充分认识到了这些材料产生污染的问题,并考虑了其他替代材料但又确实都不适合后



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